目前3D SRR制造的进展表明，国网在太赫兹和红外波段工作的频率是可行的。

山西首个示范参考文献1. Shui‐JingTang,ShuaiLiu,Xiao‐ChongYu.On-ChipSpiralWaveguidesforUltrasensitiveandRapidDetectionofNanoscaleObjects.Adv. Mater.2018,30,1800262.2. Kuan Chen, Bor-Ran Liab, Yit-Tsong Chen.Siliconnanowirefield-effecttransistor-basedbiosensorsforbiomedicaldiagnosisandcellularrecordinginvestigation.NanoToday.2011,6,131-154.3.AfsanehKeshavarz,ZohrehVafapour. SensingAvianInfluenzaVirusesUsingTerahertzMetamaterialReflector. IEEESensor J. 2019, 19,5161-5166.4. JaewonChoi,MinhongJeun,Seong-SuYuk.FullyPackagedPortableThinFilmBiosensorfortheDirectDetectionofHighlyPathogenicVirusesfromOn-SiteSamples.ACSNano 2019,13,1,812-820.5. ArshakPoghossian, MelanieJablonski, ClaudiaKoch.Field-effectbiosensorusingvirusparticlesasscaffoldsforenzymeimmobilization. Biosens.Bioelectron.2018,110, 168-174.6. SufiZafar,ChristopherDEmic, AshishJagtiani.SiliconNanowireFieldEffectTransistorSensorswithMinimalSensor-to-SensorVariationsandEnhancedSensingCharacteristics. ACSNano 2018,12,7,6577-6587.7.Jee-YeonKima,Jae-Hyuk Ahna,Dong Moon.Multiplexelectricaldetectionofavianinfluenzaandhumanimmunodeficiencyviruswithanunderlap-embeddedsiliconnanowirefield-effecttransistor.Bioelectron.2014,55,162-167.8.AnranGao,NengliZou,PengfeiDai.Signal-to-NoiseRatioEnhancementofSiliconNanowiresBiosensorwithRollingCircleAmplification.NanoLett. 2013,13,9,4123-4130.9.Hsin-HuangLin,I-ShunWang,Pei-WenYen.ACMOSBasedPolysiliconNanowireBiosensorPlatformforDifferentBiologicalTargets.ProcediaEngineering.2014, 87,340-343.10.AnranGao,NaLu,PengfeiDai.Silicon-Nanowire-BasedCMOS-CompatibleField-EffectTransistorNanosensorsforUltrasensitiveElectricalDetectionofNucleicAcids.NanoLett. 2011,11,9,3974-3978.11.Jee-YeonKima,Kyung yong Choi,Dong Moon.Surfaceengineeringforenhancementofsensitivityinanunderlap-FETbiosensorbycontrolofwettability.Bioelectron.2013,41,867-870.本文由怪ayi供稿。电力使用互补金属氧化物半导体兼容的各向异性自停止刻蚀技术自上而下制造了具有窄尺寸和高表面体积比的高响应SiNW。

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